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            產品介紹
            
                    
                
            
                
            
                                            
            
                            
            
                                
            濕式蝕刻製程設備
            
                                                            
            
                            
            
                                                                
            
                                    
            
                                        
                                    
            
                                
            
                                
            
                                                                                                                        
            
                                                
                                            
            
                                                                                                                                                                
            
                                                
                                            
            
                                                                                                                                                                
            
                                                
                                            
            
                                                                                                            
            
                                
            
                                
            
                                    
            
                                        
            濕式蝕刻製程設備
            


            SC1, SC2, SPM, RCA, Stripper
            


            Wafer Cassette Wet Bench
            


            濕式清洗設備
            


            濕式蝕刻設備
            


             
            
                                    
            
                                
            
                            
            
                                                    
            
                                            
            
                            
            
                                
            中央供酸櫃
            
                                                            
            
                            
            
                                                                
            
                                    
            
                                        
                                    
            
                                
            
                                
            
                                                                                                                        
            
                                                
                                            
            
                                                                                                                                                                
            
                                                
                                            
            
                                                                                                                                                                                        
            
                                
            
                                
            
                                    
            
                                        
            中央供酸櫃
            
                                    
            
                                
            
                            
            
                                                    
            
                                            
            
                            
            
                                
            Wet Bench / 化學櫃
            
                                                            
            
                            
            
                                                                
            
                                    
            
                                        
                                    
            
                                
            
                                
            
                                                                                                                        
            
                                                
                                            
            
                                                                                                                                                                
            
                                                
                                            
            
                                                                                                                                                                                        
            
                                
            
                                
            
                                    
            
                                        
            Wet Bench 
            


            Clean Bench
            


            Clean Booth
            


            化學櫃
            
                                    
            
                                
            
                            
            
                                                    
            
                                    
            
            
            
            
            
        
            
        
            
            
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